장비

클린룸은 에어샤워(먼지제거용), 패스박스(실내 압력 조절용), 클린앤클린 락커(물품 및 포장물 보관용)로 구성되어 있어 각 장비의 기능을 이해해야 한다.

근로자와 자재에 대한 통제

클린룸에서 운반되는 작업자 및 자재는 주로 먼지를 발생시킨다.
작업자는 클린룸에 대한 기본 지식을 알아야 한다.

청정도

클린룸의 청결도는 공기 흐름의 유형, 환기 횟수 및 실내 압력에 의해 결정된다.

유틸리티

에너지를 공급하는 장비는 흐름이 있어야 하고 레이아웃의 유연성이 있어야 하며, 유지보수를 위해 청결도를 떨어뜨리지 않도록 주의해야 한다.

안전 및 비상 계획

클린룸은 밀폐되어 있어 화재 및 가스 누출에 대비해야 한다. 정전의 영향을 받는 장비에 대해서는 비상 전원 사용을 검토해야 한다.

구조 및 재료

공기 흐름을 유지하고 먼지가 쌓이는 것을 막기 위해서는 실내 표면이 매끄러워야 한다. 재료를 선택함에 있어서는 낮은 수준의 먼지 외관과 재료에 흡착된 입자의 분리 용이성을 고려해야 한다. 특수한 경우에는 내화학성, 내습성 및 내화성을 갖는 재료를 사용한다.

에어 플로우 패턴

층류형(수평형, 수직형), 난류형, 혼합형, 터널형

레이아웃

레이아웃은 작업 효율성과 청결도를 고려하여 구성되어야 한다.
먼지를 일으키는 일은 다른 일과 분리되어야 한다(입구, 통로, 유틸리티 및 유지보수를 고려해야 한다).